喜百事化學(xué)拋光液
要達(dá)到最精細(xì)的工件表面光潔度,在最后的拋光工序上便要選用最優(yōu)質(zhì)的化學(xué)拋光液。Engis的喜百事化學(xué)拋光液選用納米級的硅微粉(SiO2)作物理拋光(Mechanical Polishing)原料,配合不同化學(xué)特性的拋光劑作為化學(xué)拋光(Chemical Polishing)的界面,能強(qiáng)化整個化學(xué)物理拋光(Chemical-Mechanical-Polishing,CMP)的工作效率,及有效地去除物料表面因精磨而留下的極淺劃痕。