廣東省半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院

我院介紹

  廣東省半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院是直屬于廣東省科學(xué)院的23個(gè)骨干科研院所之一，是中國有色金屬學(xué)會寬禁帶半導(dǎo)體專業(yè)委員會的掛靠單位，擁有固態(tài)紫外光源工程技術(shù)研究中心、寬禁帶半導(dǎo)體材料與器件創(chuàng)新中心、車規(guī)級功率電子器件可靠性檢測與認(rèn)證中心等多個(gè)省市級平臺。本院主要面向半導(dǎo)體照明創(chuàng)新應(yīng)用、功率電子器件、新型顯示、先進(jìn)封裝、機(jī)械視覺與人工智能等領(lǐng)域，聚焦半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展亟需的應(yīng)用基礎(chǔ)研究和產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用技術(shù)研發(fā)，著力打造成為推動節(jié)能環(huán)保、信息技術(shù)領(lǐng)域創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展的樞紐型高端平臺。
       本院擁有5000平方米的研發(fā)基地（其中超凈實(shí)驗(yàn)室800平方米），擁有MOCVD、真空鍍膜機(jī)等120多臺/套關(guān)鍵設(shè)備，設(shè)備總價(jià)值逾1億元。目前已建立材料外延、微納加工、封裝應(yīng)用、分析測試四大科研平臺，是國內(nèi)少數(shù)擁有完整半導(dǎo)體工藝鏈的研究平臺之一，研發(fā)實(shí)力雄厚，每年為逾百家企業(yè)/高校/研究院提供半導(dǎo)體工藝技術(shù)服務(wù)。

平臺介紹

廣東省半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院微納加工平臺，擁有半導(dǎo)體器件制備工藝研發(fā)所需的整套儀器設(shè)備，建立了一條實(shí)驗(yàn)室研發(fā)線和一條中試線，加工尺寸覆蓋2-6英寸。微納加工平臺面向國內(nèi)外科研機(jī)構(gòu)和企業(yè)提供全方位的開放服務(wù)，我們將對半導(dǎo)體材料與器件的深入研發(fā)給予全方位支持，為廣大科研單位和企業(yè)提供高品質(zhì)服務(wù)。