上海盛韜半導(dǎo)體科技有限公司

1. 特氣系統(tǒng): 現(xiàn)已成功開發(fā)出特殊氣體供應(yīng)柜（GC）、氣瓶架（GR）、閥箱（ VMB） 、超大流量氣體供應(yīng)系統(tǒng) BSGS 等一系列標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品。同時(shí)提供管線伴熱溫度控制器、鋼瓶加熱冷卻器、自動(dòng)切換裝置、高純氣加熱模塊（Heating Block）、鋼瓶加熱夾克等一系列相關(guān)配套設(shè)備。 　　2. 工業(yè)系統(tǒng): 現(xiàn)已成功開發(fā)出匯流排系統(tǒng)、超高壓H2供應(yīng)系統(tǒng)等相關(guān)設(shè)備。 　　3. 液體系統(tǒng): 現(xiàn)已成功開發(fā)出液體輸送系統(tǒng)、鼓泡系統(tǒng)、 蒸發(fā)系統(tǒng)等相關(guān)液體設(shè)備. 　　4. 分析系統(tǒng): 現(xiàn)已成功開發(fā)出氣體分析柜系統(tǒng)、氣體分析